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        CVD管式爐在使用前要做好哪些準備工作?

        點擊次數:711    發布時間:2022-06-13
          CVD管式爐是一款專業在沉底材料上生長高質量石墨烯、碳納米管、碳化硅的專用設備,廣泛應用于在半導體、納米材料、碳纖維、碳化硅、鍍膜等新材料新工藝領域。
         

         

          CVD管式爐的使用方法:
          準備工作:
          1、設計升降溫曲線,升溫速率不得高于10℃/分鐘,降溫速率應低于15℃/分鐘。
          2、清掃環境。
          3、每周開始使用時,檢查機械泵油線處于標線以上,拆除兩端蓋,用吸塵器清潔剛玉爐管。
          4、將樣品舟推入剛與管爐膛中部(恒溫長度10cm)。
          5、塞上兩塊隔熱爐塞,使第二個爐塞的末端與爐體側面平齊。
          6、裝上氣爐法蘭,確認密封墊落入槽中。
         
          開爐:
          1、開啟總電源,風扇啟動。
          2、開面板電源(順時針轉動Lock旋鈕),啟動面板。
          3、使儀表處于初始狀態(即PV顯示數值,SV閃爍顯示Stop),此時若不處于該狀態,則按向上鍵對儀表清零,使儀表只處在測顯狀態。
          4、按向左鍵1秒,進入溫度設定狀態,通過按向左鍵移動光標,按向上鍵和向下鍵來調節溫度的設定數值。
          5、按回車鍵1秒,進入時間設定狀態,通過按向左鍵移動光標,按向上鍵和向下鍵來調節時間的設定數值。
          6、程序后一步為時間狀態,數值為-121,以結束全部程序,按回車鍵確定。
          7、按住向左鍵不放,然后按下回車鍵,則退出程序設置。
          8、按向左鍵進入程序設定狀態,再連續按回車鍵檢查設定的程序是否符合預定的升降溫曲線。
          9、按住向左鍵不放,然后按回車鍵復位。
          10、按回車鍵2秒,進入基本參數設置,連續按回車鍵檢查基本參數(n5=389.7,p=15,t=10,ctrl=3,opl=28)。
          11、按住向左鍵不放,然后按回車鍵,復位、
          12、按回車鍵1秒,檢查是否為STEP1,即程序從步開始執行。
          13、按住向左鍵不放,然后按回車鍵,復位。
          14、按向下鍵2秒,SV顯示Run運行程序。
          15、按綠色TurnOn鍵,啟動加熱電源,觀察電流表、電壓表:(若工作電流超過150A持續幾秒鐘,按下Turnoff鍵斷開加熱電源,檢查功能參數的設定)。
          16、在使用惰性氣體做工作氣體時,升溫過程中嚴密注意壓力表,如壓力高于0.08MPa,立即打開出口閥放氣。
          17、在使用氫氣做工作氣體時,降溫過程中要注意監視錐形瓶中出氣的情況,如果有倒吸情況,應立即逆順時針調節流量計旋鈕,增加進氣量。
          18、操作者在升溫、保溫、降溫過程中不得離開,如遇跳閘,要立即合閘供電。
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